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干式真空泵日常維修及保養注意事項
對于整個真空泵行業來說,在未來干式真空泵 將成為行業發展的主流趨勢,雖然現在用的還不多,除了價格高原因外,還有用戶對干式真空泵的了解不到位,看不到帶
濟效益,下面小編就來給大家介紹一下干式真空泵維修和保養。
對于這些不同類型的干式真空泵,我們都渴望能夠將其物理尺寸減小。但這與真空泵的抽氣速率相矛盾,因為真空泵的抽氣速率與真空泵的容積成正比,物理尺寸小意味著容積也小。當然,還有一個影
速率的重要因素,那就是轉速。為了讓小尺寸的真空泵的抽氣速率與大尺寸真空泵的抽氣速率相匹配,就需要提高它的轉速。真空泵維修保養非常重要。而想要改變真空泵的轉速有兩種方法,一是改變
采用變頻器;二是改變齒輪箱的傳動比。其中,采用變頻器的好處是可以提供一個閉環控制,但在大負載下容易引起扭距的損失。而改變齒輪箱的傳動比是一種非常經濟的方法,當然,它只能提供不可控
現在,可以看到干式真空泵有著如此多的不同設計,它們各自有著自己的特性和優缺點。一直以來,使用成本是一個影響人們選擇真空泵的重要因素。越來越多的真空泵用戶意識到也應該將真空泵運行
去。因為真空泵的意外出錯會引起機器的使用效率降低,影響到晶圓的生產和交貨期,甚至造成所加工晶圓的報廢和機器其它部件的損壞。由于螺桿式設計為單級設計,同多級泵如圓裂片式,爪式以及
在零件的使用數量上減少了60%。這使得其在穩定性和將來的維修成本上有很大的優勢。
綜合考慮,如果用戶認為耗電量對他來說*為重要而氮氣用量對他來說*不重要,那么選擇內部壓縮型螺桿式可以是一個好的選擇。但普遍說來,對尾氣處理越來越嚴格的要求使得將來對減少氮氣的用量
果你希望用單一類型的泵不經過改變來處理各種不同的半導體工藝,而使得你的庫存控制簡單化,那么外部壓縮型螺桿式是你*好的選擇。
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羅茨真空泵系列帶溢流閥。八字形轉子在泵殼外部以穩固速率反向扭轉,用于吸入和排擠氣體。兩個轉子由兩個軸承支持并經由過程齒輪同步,這包管了這兩個轉子處于某些絕dui方位。它們相互靠攏而且在沒有現實觸摸的情況下與殼體靠攏,濕式羅茨真空泵多少錢,因此在功課殼體中不必要光滑。經心均衡的操縱部件和高精度的斜齒輪使泵在高壓差的條件下穩固連續運行。動密封件采納我公司專利技術和入口油封,軸封上軸的振動量節制在0.02mm之內。
重力閥安裝在泵的吸入和排擠部門之間。重力閥的功效以下,當吸入和排擠部門之間的壓力差超出閥門的分量時,閥門主動關上,這使得壓力差不停堅持在一個固定的可控值,該值為允許的高壓差包管泵失常功課,現實上,帶溢流閥的羅茨真空泵是一種過載自保護泵。
帶溢流閥的SYF系列真空泵在絕dui較低的入口壓力下具備顯著更高的速率,并具備過載自保護功效。因為它是干間隙密封布局的泵,假如必要獲得必定的泵送速率和極限真空,則有必要供應較低的入口壓力以減少回流,因此,泵有必要備用,根管真空泵應在其入口壓力到達允許值以便勤儉后開始功課。
允許抉擇分歧品種的泵作為現實請求的前級泵,如油封泵和液環真空泵。當泵送含有大批蒸汽的氣體時,液環真空泵是理想的前級泵。
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羅茨泵工作原理性能特點羅茨泵實質上與凸輪泵相同,但轉子是羅茨型的。它能輸送黏度為數萬厘泊的液體。羅茨泵主要是有兩個旋轉方向相反的轉子位于泵體中,由一對同步齒輪傳動,對于羅茨泵的轉子,在泵體內是互相嚙合的,但具有間隙。間隙大小主要取決于液體黏度。超過一定黏度范圍必須調整增大間隙。
1、羅茨泵經常檢查油位位置,不符合規定時須調整使之符合要求。以羅茨泵運轉時,油位到油標中心為準。
2、羅茨泵換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮,濕式羅茨真空泵生產廠家,由用戶酌情決定.一般新羅茨泵,抽除清潔干燥的氣體時,建議在工作100小時左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后,以后可適當延長換油期限。
3、羅茨泵經常檢查油質情況,發現油變質應及時更換新油,確保羅茨泵工作正常。
4、羅茨泵一般情況下,羅茨泵工作2000小時后應進行檢修,檢查桷膠密封件老化程度,檢查排氣閥片是否開裂,清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個羅茨泵腔內的零件,如轉子,旋片,彈簧等.一般用汽you清洗,并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時應輕拿輕放小心碰傷。
5、羅茨泵向軸承體內加入軸承潤滑機油,觀察油位應在油標的中心線處,潤滑油應及時更換或補充。
6、羅茨泵檢查羅茨泵管路及結合處有無松動現象。用手轉動羅茨泵,試看羅茨泵是否靈活。
7、羅茨泵重新裝配后應進行試運行,一般須空運轉2小時并換油二次,因清洗時在羅茨泵中會留有一定量易揮發物,待運轉正常后,再投入正常工作。
8、羅茨泵開動電機,當羅茨泵正常運轉后,打開出口壓力表和進口羅茨泵,視其顯示出適當壓力后,逐漸打開閘閥,同時檢查電機負荷情況。
9、羅茨泵盡量控制羅茨泵的流量和揚程在標牌上注明的范圍內,以保證羅茨泵在高效率點運轉,才能獲得大的節能效果。
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